以下介紹碳化硅密封件的部分性能規(guī)格：
| 材料特性 | Norm | Symbol/Unit | F | F plus | T |
| 密度 | DIN EN 623-2 | ρ [g/cm3] | >3.10 | >3.16 | >3.21 |
| 孔隙度 | DIN EN 623-2 | P [%] | <3.0 | <1.0 | <1.0 |
| 平均晶粒尺寸 | [μm] | <5 | <5 | <2 | |
| 粒度分布 | [μm] | ||||
| 物相成分 | α-SiC | α-SiC | α-SiC, YAG |
||
| 維氏硬度 | DIN EN 843-4 | HV 1 [GPa] | 25.5 | 25.5 | 22.5 |
| 努氏硬度 | DIN EN 843-4 | HK 0.1 [GPa] | 24.5 | 24.5 | 21.0 |
| 楊氏模量 | DIN EN 843-2 | E [GPa] | 410 | 420 | 420 |
| 韋伯模量 | DIN EN 843-5 | m | 10 | 15 | 15 |
| 抗彎強(qiáng)度,4-PT彎曲 | DIN EN 843-1 | σB [MPa] | 400 | 510 | 550 |
| 耐壓強(qiáng)度 | σD [MPa] | 2200 | 2200 | 2500 | |
| Poisson ratio | ν | 0.17 | 0.17 | 0.16 | |
| 斷裂韌性 (SENB) | Klc [MPa·m0,5] | 4 | 4 | 6 | |
| 熱膨脹系數(shù) | DIN EN 821-1 | ||||
| 20°C - 500°C | α [10-6/K] | 4.1 | 4.1 | 3.5 | |
| 500°C - 1000°C | α [10-6/K] | 5.2 | 5.2 | 5.2 | |
| 20°C時(shí)的比熱容 | DIN EN 821-3 | cp [J/g K] | 0.6 | 0.6 | 0.6 |
| 20°C時(shí)的熱導(dǎo)率 |
DIN EN 821-2 | λ [W/mK] | 125 | 125 | 75 |
| 熱應(yīng)力 參數(shù) | calculated | ||||
| R1 = σB·(1-ν) / (α·E) | R1 [K] | 198 | 246 | 314 | |
| R2 = R1·λ | R2 [W/mm] | 25 | 31 | 24 | |
| 20℃下的電阻率 | DIN EN 50359 | ρ [Ω cm] | 106-108 | 106-108 | 102-103 |